方案介紹：
附著(zhù)在基底上的薄膜表面進(jìn)行反射測試時(shí)，會(huì )出現一副干涉條紋的圖樣，配置合適的測試方案，通過(guò)特定測試軟件，可以計算出薄膜的厚度。
薄膜測量系統是基于白光干涉的原理來(lái)確定光學(xué)薄膜的厚度。測試得到白光干涉圖樣后，再進(jìn)行數學(xué)運算計算出薄膜厚度。
對于單一類(lèi)型的膜層來(lái)說(shuō)，如果已知薄膜的n和k值就可以計算出它的物理厚度。
將光纖光譜儀與光纖探頭在生產(chǎn)線(xiàn)上構建實(shí)時(shí)測量系統，可為高精度工件加工線(xiàn)上質(zhì)量監測和工業(yè)鍍膜過(guò)程提供了一種靈活方便的測量手段。
薄膜測量主要應用于半導體晶圓工業(yè)，此時(shí)需要監控等離子刻蝕和沉積過(guò)程，還可以用于其它在金屬和玻璃基底上鍍制透明膜層的測量領(lǐng)域。
